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Moorfield近推出了臺(tái)式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD,高度集成化的高真空高性能臺(tái)式PVD系統(tǒng)。越、高效的性能適用于眾多薄膜的研究工作。
Moorfield與學(xué)術(shù)界緊密合作研發(fā)的臺(tái)式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備系列可以用來(lái)快速生產(chǎn)高質(zhì)量的石墨烯用于學(xué)術(shù)和應(yīng)用研究。
日本ADVANCE RIKO公司致力于電弧等離子體沉積系統(tǒng)(APD)用脈沖電弧放電將電導(dǎo)材料離子化,產(chǎn)生高能離子并沉積在基底上,制備納米薄膜鍍層或納米顆粒。
脈沖激光沉積、分子束外延薄膜制備系統(tǒng)(NEW)等由美國(guó)BlueWave生產(chǎn),可制備的薄膜包括氮化物、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、反應(yīng)濺射、熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(TCVD)等設(shè)備。
薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術(shù)現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、太陽(yáng)能等域的研發(fā)以及成產(chǎn)當(dāng)中,這些技術(shù)包括: 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器(PECVD Reactors) 脈沖激光沉積系統(tǒng)(Pulsed Laser Deposition) 磁控濺射系統(tǒng)(Sputter Deposition System) 電子束沉積系統(tǒng)(E-beam Deposition System)
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