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產(chǎn)品中心低溫物理設(shè)備探針臺FWPX四英寸低溫探針臺
產(chǎn)品簡介
Lake Shore 的FWPX探針臺專為需要大尺寸晶圓探測的研究人員設(shè)計，它可以容納直徑高達102 mm（4英寸）的晶圓片，并可定制容納更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圓。
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Lake Shore 的FWPX探針臺專為需要大尺寸晶圓探測的研究人員設(shè)計，它可以容納直徑高達102 mm（4英寸）的晶圓片，并可定制容納更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圓。這款通用的探針臺主要是為研究者和工程師們做大樣品的材料特性表征而設(shè)計，同樣可以有效的測量有機材料。
FWPX探針臺采用了連續(xù)流制冷系統(tǒng)，使用液氦或液氮來冷卻晶圓片或樣品。它的標準工作范圍為4.5K~475K，使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫擴展至3.5K。
FWPX探針臺可進行I-V，C-V 和微波等標準測量。
FWPX探針臺最多同時安裝6個帶有熱沉的微型操縱探針臂，經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計后可用于電光測試。
主要特征：
√ 溫度范圍4.5 K~475 K
√ 可選低溫3.5 K
√ 樣品快速測量
√ 標準4英寸（102 mm）樣品，6英寸（152 mm）可定制
√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
√ 樣品振動＜30 nm
設(shè)備參數(shù)：
| 溫度范圍 | ||
| 最多安裝6個探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.5 K，控制范圍5 K ~ 475 K | |
| 安裝PS-LT低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度3.5 K，控制范圍4 K ~ 475 K | |
| 溫度穩(wěn)定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | ±20 mK | ±20 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±20 mK | ±50 mK |
| 251 K ~ 350 K | ±20 mK | ±100 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵組為標準 | |
| 抽真空時間 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | |
| 室溫下 | <5 × 10-4 Torr | |
| 基礎(chǔ)溫度下 | <1 × 10-5 Torr | |
| 最高溫度下 | <5 × 10-3 Torr | |
| 循環(huán)時間 | ||
| 總循環(huán) | 3.5 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探針臺冷卻 | 1.5 h | |
| 探針臺升溫 | 1.5 h | |
| 樣品 | ||
| 最大尺寸 | 102 mm(4英寸)標準 | |
| 樣品背光接口 | 不可選 | |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | ±5°面內(nèi)旋轉(zhuǎn) | |
| 樣品平移 | 在x軸和y軸上平移，用于整個102 mm的晶圓片探測 | |
| 樣品振動 | ＜30 nm標準 | |
| 探針配置 | ||
| 最大探針數(shù) | 6 | |
| 探針臂溫度計 | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
| 冷卻探針支架 | ＜30 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
| 探針支架 | 連接樣品臺熱沉 | |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 | |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
| 光纖探針 | 可用于電光測量 | |
| 落針范圍 | 所有探針均可在直徑為51毫米（2 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
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