薄膜磁控濺射系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

Moorfield公司近十年來與曼徹斯大學(xué)諾獎(jiǎng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)緊密合作，推出的薄膜磁控濺射系統(tǒng)系列產(chǎn)品由于其體積小巧、性能越、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽(yù)。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

材料制備/樣品合成

單晶爐薄膜、顆粒、膠體等制備爐子（燒結(jié)爐、電弧爐等）納米直寫、光刻設(shè)備

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Moorfield Nanotechnology是英國材料科學(xué)域高性能儀器研發(fā)公司，成立25年來注于高質(zhì)量的薄膜生長與加工技術(shù)，擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力，推出的多種高性能設(shè)備受到科研與工業(yè)域的廣泛好評(píng)。Moorfield公司近十年來與曼徹斯大學(xué)諾獎(jiǎng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)緊密合作，推出的薄膜磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品由于其體積小巧、性能越、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽(yù)。

Moorfield Nanotechnology推出的臺(tái)式設(shè)備體積小巧，但性能已經(jīng)可以和大型設(shè)備相媲美。這些設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入了歐洲的實(shí)驗(yàn)室，諸如曼徹斯大學(xué)、劍橋大學(xué)、帝國理工學(xué)院、諾森比亞大學(xué)、巴斯大學(xué)、?？巳髮W(xué)、倫敦瑪麗女·王大學(xué)、哈德斯菲爾德大學(xué)、萊頓大學(xué)、亞森工業(yè)大學(xué)、西班牙光子科學(xué)研究所、英國國家物理實(shí)驗(yàn)室等著名單位都是Moorfield Nanotechnology的用戶和長期合作者。諸多的用戶與合作者讓產(chǎn)品的性能和設(shè)計(jì)理念得到了高速發(fā)展。

如今Quantum Design中國子公司與Moorfield Nanotechnology正式合作，將為中國用戶提供高性能的設(shè)備與質(zhì)的服務(wù)。除了臺(tái)式設(shè)備之外我們還提供多種大型設(shè)備和定制服務(wù)。全系列產(chǎn)品即將上線，敬請(qǐng)期待……

臺(tái)式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備系列—nanoCVD

快速高質(zhì)量石墨烯生長設(shè)備，整個(gè)過程30分鐘內(nèi)搞定！

CVD被*為是石墨烯具有應(yīng)用前景的制備手段。NanoCVD系列臺(tái)式設(shè)備是為制備高質(zhì)量的石墨烯與碳納米管而開發(fā)的高性能臺(tái)式CVD系統(tǒng)。與曼徹斯大學(xué)諾獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)的長期合作使得該系列產(chǎn)品在制備石墨烯等碳基納米材料方面具有雄厚的技術(shù)積累。該系列產(chǎn)品操作簡便，生長條件控制準(zhǔn)確，生長迅速、制備出的樣品具有高質(zhì)量、高可重復(fù)性，可清楚的觀測(cè)到分?jǐn)?shù)量子霍爾效應(yīng)。尤其適合于需要快速得到高質(zhì)量石墨烯或碳納米管用于學(xué)術(shù)研究的團(tuán)隊(duì)。

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臺(tái)式高性能多功能PVD薄膜磁控濺射系統(tǒng)系列—nanoPVD

可媲美大型PVD的臺(tái)式高性能PVD系統(tǒng) ，爆款熱銷中！

基于多年大型薄膜制備系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研發(fā)所積累的豐富經(jīng)驗(yàn)，Moorfield Nanotechnology推出了臺(tái)式高性能多功能PVD薄膜制備系列產(chǎn)品。該系列產(chǎn)品是為高水平學(xué)術(shù)研究研發(fā)的小型物理氣相沉積設(shè)備。該系列產(chǎn)品包含磁控濺射、金屬/機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng)。這些設(shè)備雖然體積小巧但是性能越，能夠快速實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量納米薄膜、異質(zhì)結(jié)的制備，通常在大型設(shè)備中才有的共濺射功能也可以在該系列產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)。便捷的操作、智能的控制、高效的制備效率讓您的學(xué)術(shù)研究進(jìn)入快車道。

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臺(tái)式超準(zhǔn)確二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH

用于超準(zhǔn)確刻蝕二維材料與樣品表面處理的等離子體刻蝕系統(tǒng)

石墨烯等二維材料的微納加工與刻蝕需要很高的精度，而目前成熟的傳統(tǒng)半導(dǎo)體刻蝕系統(tǒng)在面對(duì)單層材料的高精度刻蝕需求時(shí)顯得力不從心。為了解決目前維納加工中常用的蝕系統(tǒng)功率較大、難以精細(xì)控制的問題，Moorfield Nanotechnology 推出了臺(tái)式超準(zhǔn)確二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)- nanoETCH。該系統(tǒng)對(duì)輸出功率的分辨率可到達(dá)毫瓦量，對(duì)二維材料可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的逐層刻蝕，也可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料進(jìn)行層內(nèi)缺陷制造，此外還可對(duì)石墨基材等進(jìn)行表面處理。

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臺(tái)式準(zhǔn)確氣氛壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL

從高真空到各種氣氛都能準(zhǔn)確控制的準(zhǔn)確熱處理系統(tǒng)

Moorfield Nanotechnology門為制備高質(zhì)量的樣品而推出的臺(tái)式準(zhǔn)確氣氛壓力控制高溫退火系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以滿足從高真空到各種氣氛的退火需求。對(duì)氣壓和溫度都能進(jìn)行準(zhǔn)確控制，該系統(tǒng)不僅僅是普通的退火系統(tǒng)更是二維材料、基片等進(jìn)行準(zhǔn)確可控?zé)崽幚淼闹匾Ｕ?。該系統(tǒng)顛·覆了傳統(tǒng)箱式、管式爐的粗放退火方式，開創(chuàng)了準(zhǔn)確退火的新篇章。

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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

是臺(tái)噴金儀，但不僅僅是噴金儀

多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是Moorfield Nanotechnology為SEM、TEM樣品的表面導(dǎo)電處理以及普通樣品的高質(zhì)量電生長而設(shè)計(jì)的金屬濺射系統(tǒng)。系統(tǒng)配備SEM樣品托、TEM樣品網(wǎng)、普通薄膜樣品等多種樣品臺(tái)。雖然該系統(tǒng)主要為濺射金屬而設(shè)計(jì)，但是該設(shè)備的性能已經(jīng)達(dá)到了高質(zhì)量薄膜樣品的制備標(biāo)準(zhǔn)。通過選擇不同的配置可以兼顧樣品的表面導(dǎo)電處理、電制備與學(xué)術(shù)研究型薄膜樣品的制備。因此nanoEM是臺(tái)*的多功能高磁控濺射噴金儀。

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用戶單位

部分單位及用戶評(píng)價(jià)

意大比薩大學(xué)（nanoPVD S10A）

Moorfield近在意大比薩大學(xué)安裝了另臺(tái)nanoPVD-S10A磁控濺射系統(tǒng)。在這里，它將被Giuseppe Barillaro副教授的團(tuán)隊(duì)用于為新型器件生長保護(hù)性和功能性涂層。該小組的研究應(yīng)用包括納米醫(yī)學(xué)、生物傳感、微電子學(xué)和光子學(xué)。

諾森比亞大學(xué)（nanoPVD S10A，MiniLab）

DR. GUILLAUME ZOPPI對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

在諾森比亞大學(xué)，我們正在研究各種材料的·進(jìn)應(yīng)用，別是光伏材料。作為*的部分，Moorfield近安裝的用于磁控濺射和電子束蒸發(fā)的nanoPVD和MiniLab系統(tǒng)發(fā)揮了關(guān)鍵作用。Moorfield家的業(yè)建議確保了我們得到合適的設(shè)備，我們對(duì)設(shè)備的質(zhì)量和快速、高效的技術(shù)支持留下了深刻的印象。很高興能和Moorfield的團(tuán)隊(duì)起工作。

巴斯大學(xué)（nanoPVD-T15A）

DR. PETRA CAMERON對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

我們的研究重點(diǎn)是電化學(xué)材料、能源材料和鈣鈦礦光伏材料。我們之前直在尋找個(gè)可靠且易于使用的臺(tái)式蒸發(fā)設(shè)備?，F(xiàn)在，我們新的Moorfield nanoPVD-T15A熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以高質(zhì)量的沉積金屬電和鈣鈦礦光伏材料的接觸層。讓我們喜歡的另方面是，該系統(tǒng)是模塊化的，可以很容易地升低溫有機(jī)物蒸發(fā)模塊。我們的nanoPVD-T15A已經(jīng)迅速成為個(gè)關(guān)鍵設(shè)備，現(xiàn)在每天都在使用。

DR MATTHEW COLE（副教授）對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

Moorfield的服務(wù)速度快如閃電。他們的產(chǎn)品支持是完·美的。

丹麥技術(shù)大學(xué)（MiniLab090手套箱集成系統(tǒng)）

為了滿足Tim Booth在二維材料和異質(zhì)結(jié)的合成和應(yīng)用研究，系統(tǒng)在MiniLab090的基礎(chǔ)上集成了手套箱，允許在惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行完整的設(shè)備操作。系統(tǒng)配置包括軟刻蝕、熱蒸發(fā)和磁控濺射。

Tim Booth教授對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

在DTU，我們近從Moorfield采購了套手套箱集成系統(tǒng)，系統(tǒng)配置包括軟蝕刻系統(tǒng)、熱蒸發(fā)和磁控濺射功能，用于我們研究二維材料和異質(zhì)結(jié)的合成和應(yīng)用。該系統(tǒng)允許我們?cè)诟呔瓤刂频牡脱鹾退畾鈼l件下執(zhí)行2D材料器件的大部分微加工步驟。

Moorfield團(tuán)隊(duì)在設(shè)計(jì)和安裝過程中至關(guān)重要并且非常業(yè)，如果有任何疑問，他們總是可以立即提供技術(shù)支持。他們?cè)谔峁?D材料技術(shù)支持方面有多年的經(jīng)驗(yàn)，所以我們知道我們有了得力的助手。系統(tǒng)的高質(zhì)量設(shè)計(jì)方案讓我們印象深刻，我們期待著在未來的許多年里與設(shè)備和Moorfield團(tuán)隊(duì)起工作。強(qiáng)烈推薦!"

MiniLab090手套箱集成系統(tǒng)，圖中紅色部分為集成系統(tǒng)的控制屏幕和主機(jī)部分。

曼徹斯大學(xué)（手套箱集成退火和刻蝕系統(tǒng)）

DR. ROMAN GORBACHEV對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

我的團(tuán)隊(duì)近與Moorfield合作，為我們的應(yīng)用方向定制了個(gè)集成手套箱的熱退火和軟蝕刻組合系統(tǒng)。它安裝于新的National Graphene Institute (NGI)，現(xiàn)在被用于石墨烯和2D材料的研究。我們直對(duì)Moorfield的業(yè)技術(shù)和提高客戶滿意度的奉獻(xiàn)印象深刻，這次也不例外！

西班牙光子研究所（手套箱集成退火和刻蝕系統(tǒng)）

位于西班牙巴塞羅那Castelldefels 的ICFO （光子科學(xué)研究所）是個(gè)致力于光學(xué)域科學(xué)和技術(shù)的研究中心。

DR. STIJN GOOSSENS對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

在ICFO，我們正在努力建立個(gè)新材料研究中心。近安裝的Moorfield 手套箱集成熱退火系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)，以及新的nanoETCH系統(tǒng)，起到了關(guān)鍵作用。我們對(duì)他們業(yè)的銷售建議、他們系統(tǒng)的質(zhì)量和可靠性以及他們快速、有效的支持印象深刻。很高興能和他們的團(tuán)隊(duì)起工作！

Evonetix公司（MiniLab 026 熱蒸發(fā)系統(tǒng)）

Evonetix公司致力于用基因合成技術(shù)，促進(jìn)合成生物學(xué)域的快速發(fā)展。Evonetix的勢(shì)是基因合成的高保真性和并行性。

DR. DAN BRATTON PH.D對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

在Evonetix，我們正在開創(chuàng)種可擴(kuò)展和高保真基因合成的創(chuàng)新方法。我們想擁有種將金屬蒸發(fā)到各種基材上的設(shè)備，我們聯(lián)系了Moorfield Nanotechnology公司，該公司根據(jù)我們的要求定制了個(gè)Minilab 026蒸發(fā)系統(tǒng)。在整個(gè)過程中，Moorfield Nanotechnology團(tuán)隊(duì)非常友好且知識(shí)淵博，在安裝前后都提供現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)。在Evonetix, Minilab 026已經(jīng)被證明是非常有用的設(shè)備。別是，我們喜歡它的緊湊設(shè)計(jì)，它的易用性，以及它所帶來的樣品數(shù)量的增加。我們?cè)敢庀蛉魏稳送扑]該設(shè)備和團(tuán)隊(duì)。

Evonetix團(tuán)隊(duì)與新安裝的MiniLab026熱蒸發(fā)系統(tǒng)

曼徹斯城市大學(xué)（MiniLab 060）

DR. JUSTYNA KULCZYK對(duì)Moorfield的評(píng)價(jià)：

在MMU，我們近成立了曼徹斯燃料電池創(chuàng)新中心，以開發(fā)用可再生能源的創(chuàng)新技術(shù)方案。為此，我們采購了Moorfield MiniLab 060磁控濺射系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有快速進(jìn)樣室、襯底偏壓和等離子清洗、脈沖直流和射頻電源以及共沉積功能。在系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中，Moorfield提供了非常寶貴的建議。我們對(duì)系統(tǒng)和軟件的質(zhì)量，以及他們團(tuán)隊(duì)的業(yè)知識(shí)、溝通和技術(shù)支持都留下了深刻的印象。我們將推薦給任何現(xiàn)在或?qū)砜紤]使用PVD系統(tǒng)的人。