全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

產(chǎn)品簡介

SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂，在AFM、納米、力測量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針安裝了個全壓電電阻式的惠斯通電橋，兩個可變電阻在懸臂上，兩個在晶片上可以直接測量懸臂的信號，從而避免了光學(xué)技術(shù)對空間要求。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2603

產(chǎn)品咨詢 13021034795

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

表面成像分析

磁學(xué)顯微鏡紅外光譜儀顯微鏡干涉儀/位移臺殘余應(yīng)力高光譜電鏡近場光學(xué)

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

文帶你了解什么是透射電子顯微鏡

詳細(xì)介紹在線留言

全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

——從此形貌探測無需激光

SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂，在AFM、納米、力測量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。我們的多學(xué)科團(tuán)隊由物理、商業(yè)和金融、半導(dǎo)體和微電子學(xué)、電子工程和生物科學(xué)等域的家組成。除了我們自己的團(tuán)隊之外，我們還與著名高校：University of Tampere (UTA)，école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 許多的研究團(tuán)隊合作，密切接觸前沿研究和開發(fā)。

自感應(yīng)懸臂探針安裝了個全壓電電阻式的惠斯通電橋，兩個可變電阻在懸臂上，兩個在晶片上可以直接測量懸臂的信號，從而避免了光學(xué)技術(shù)對空間要求。這種懸臂式芯片被連接在個小的PCB上，帶有個小的連接器，用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號是通過個小型的前置放大器PCB來讀出和放大的。這使得與各種儀器，如SEM，TEM和許多其他測量系統(tǒng)的簡單無縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。

SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換裸懸臂AFM探針，用鋼鑷子來更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。

常規(guī)自感應(yīng)懸臂梁探針（針尖材質(zhì)Si） Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip

左圖展示的是標(biāo)準(zhǔn)的SCL自感應(yīng)懸臂探針的*，*半徑小于15納米。正常情況下，懸臂探針會預(yù)安裝制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下側(cè)有個10pin的連接器。如果有殊要求，我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本，可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing)

型號列表：

PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP

我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80 kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時（PRSA-L300-CHP）時，使用的頻率范圍是未知的，因為這些參數(shù)不能在沒有電觸點的情況下測量。

	共同點Common
	針尖銳度Silicon tip radius (rtip)	< 15 nm
	長寬Cantilever length, width (l/w)	l = 305 μm, w = 110 μm
	靈敏度Sensitivity (s)	1-2 μV/nm
	應(yīng)用Applications	AFM, 納米探測, 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測.
	PRSA-L300-F50-Si-PCB
	共振頻率Resonant frequency (fR)	fR = 30~65 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 1~15 N/m
	PRSA-L300-F80-Si-PCB
	共振頻率Resonant frequency (fR)	65...95 kHz
	剛度Stiffness (k)	15...56 N/m

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP

	PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP
	針尖銳度Silicon tip radius (r_tip)	< 15 nm
	長寬Cantilever length, width (l/w)	l = 70...85 μm, w = 30 μm
	靈敏度Sensitivity (s)	3 μV/nm
	應(yīng)用Applications	AFM, 納米探測, 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測.
	共振頻率Resonant frequency (fR)	500...1300 kHz
	剛度Stiffness (k)	35...400 N/m

自感應(yīng)懸臂梁（不含針）Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)

這是種殊類型的SCL的自感應(yīng)懸臂，沒有探針針尖，可將自己設(shè)計制造的針尖粘在其上或者直接粘上樣品，滿足個性化的需求。這種無探針的懸臂尤其適用于扭矩磁力儀、力感測力、氣體性測量，以及更多的應(yīng)用。正常情況下，懸臂探針會預(yù)安裝制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下側(cè)有個10pin的連接器。如果有殊要求，我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本，可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing)

型號列表：

PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP

我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80 kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時（PRSA-L300-CHP）時，使用的頻率范圍是未知的，因為這些參數(shù)無法在沒有電觸點的情況下測量。

	共同點Common
	長寬Cantilever length, width (l/w)	l = 300 μm, w = 110
	靈敏度Sensitivity (s)	1-2 μV/nm
	應(yīng)用Applications	扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝
	PRSA-L300-F50-TL-PCB
	共振頻率Resonant frequency (fR)	fR = 30~65 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 1~15 N/m
	PRSA-L300-F80-TL-PCB
	共振頻率Resonant frequency (fR)	65...95 kHz
	剛度Stiffness (k)	15...56 N/m

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP

	PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP
	長寬Cantilever length, width (l/w)	l = 100 μm, w = 48 μm
	靈敏度Sensitivity (s)	1...3 μV/nm
	應(yīng)用Applications	扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝
	共振頻率Resonant frequency (fR)	fR = 250...550 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 14...170 N/m

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP

	PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP
	長寬Cantilever length, width (l/w)	l = 450 μm, w = 100 μm
	靈敏度Sensitivity (s)	1...2 μV/nm
	應(yīng)用Applications	扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝
	共振頻率Resonant frequency (fR)	fR = 14...48 kHz
	剛度Stiffness (k)	k = 0.5...24 N/m

自感應(yīng)基礎(chǔ)套件（DYI*） Self-Sensing Starter-Kit

自感懸臂探針的每個應(yīng)用中沒有激光擾度探測，無法直接用于普通AFM設(shè)備里，需要我們提供的自感應(yīng)基礎(chǔ)套件。該基礎(chǔ)套件為您提供了所有基本但必要的配置，可以立即開始使用自感應(yīng)懸臂（探針）。自感應(yīng)基礎(chǔ)套件包含以下內(nèi)容：

? 低噪聲懸臂信號前置放大器（下圖-2)

? 連接前置放大器到懸臂和后加工設(shè)備（鎖定放大器，AFM控制器等）的電纜。(1 + 3)

? 10個自我感覺的懸臂（4)