單晶體的最大特點(diǎn)是各向異性,這也意味著無論在制備、使用還是研究單晶體時(shí),都必須知道其取向。例如,在Si半導(dǎo)體集成器件和大規(guī)模集成電路的制備中,就需表面為{1 1 1}或{1 0 0}面的基片。此外,在晶體缺陷和相變的研究中,也需要考慮單晶體的位向問題。
X射線衍射方法的出現(xiàn),在無損、準(zhǔn)確地解決單晶定向難題的基礎(chǔ)上,還能提供晶體內(nèi)部微觀完整性的信息。日本Pulstec公司基于特殊的圓形全二維面探測器技術(shù)研發(fā)推出了新一代X射線單晶定向系統(tǒng)s-Laue。該設(shè)備配備六軸樣品臺(tái),具有功率小(30 KV/1.5 mA)、操作簡單、測試效率高(典型測試時(shí)間為60秒)等特點(diǎn)。同時(shí),s-Laue提供臺(tái)式、便攜式兩種類型設(shè)備,即能滿足實(shí)驗(yàn)室小樣品單晶定向需求,還可用于大型零件的現(xiàn)場晶體定向應(yīng)用。
新一代X射線單晶定向系統(tǒng)s-Laue
部分用戶單位:
由于上述突出的特點(diǎn)和明顯的優(yōu)勢,s-Laue自推出以來受到科研工作者的廣泛關(guān)注,目前已有國內(nèi)外多個(gè)客戶選擇其用于其單晶體的科研工作。
部分測試數(shù)據(jù)展示:
單晶硅測試結(jié)果 Al2O3測試結(jié)果
樣機(jī)體驗(yàn):
為了便于廣大客戶全面了解和親身體驗(yàn)新一代X射線單晶定向系統(tǒng)s-Laue,Quantum Design中國公司引進(jìn)了s-Laue樣機(jī),目前該設(shè)備已安裝于我公司實(shí)驗(yàn)室并調(diào)試完畢。即日起,我們歡迎對該設(shè)備感興趣的老師和同學(xué)來訪,我們在Quantum Design中國樣機(jī)實(shí)驗(yàn)室恭候大家的到來。
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