近期，瑞士swisslitho公司用3d納米高速直寫設(shè)備完成了 nano-Dog 賀卡的制作，尺寸僅有9.2μmx 5.5μm，Z軸精度1nm，突破了納米加工尺寸的限，是目前精度zui高的納米賀卡。

    喜氣洋洋的旺旺狗，體現(xiàn)了這款設(shè)備的納米直寫能力（高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)），同時(shí)高直寫速度，無需顯影，無臨近效應(yīng)，無電子/離子損傷等點(diǎn)逐漸受到科研工作者的青睞。2017推出的小面積直寫系統(tǒng)NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的樣品臺(tái)，桌面配置，大方便了實(shí)驗(yàn)室科研人員的研究工作。

    普通的AFM針尖可無法滿足上述直寫流程的需求，為此IBM門研發(fā)并設(shè)計(jì)了熱掃描探針。該針尖具有兩個(gè)電阻加熱區(qū)域，針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000℃。 第二處加熱區(qū)域作為熱導(dǎo)率傳感器位于側(cè)臂處，其能感知針尖與樣品距離的變化，精度高達(dá)0.1nm。

    在每行直寫進(jìn)程結(jié)束后的回掃結(jié)構(gòu)時(shí)，并不是通過針尖起伏反饋形貌信息，而是通過熱導(dǎo)率傳感器感應(yīng)形貌變化，從而實(shí)現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度，同時(shí)保證了3D直寫的高精度。

    NanoFrazor與傳統(tǒng)的微納加工設(shè)備如納米醮印，激光直寫，聚焦離子束刻蝕FIB，電子束誘導(dǎo)沉積，電子束光刻EBL等技術(shù)相比，具有高精度3D納米結(jié)構(gòu)直寫，具備實(shí)時(shí)形貌探測(cè)的閉環(huán)刻寫技術(shù)以及無需標(biāo)記拼接與套刻等*技術(shù)勢(shì)。加上其性價(jià)比高，使用和維護(hù)成本低，易操作等點(diǎn)，成為廣受關(guān)注的納米加工設(shè)備。